Ýarymgeçirijiler we elektronika-fs-lazer ulanylyşy

Ýarymgeçirijiler we elektronika Mikromehanika

Ýarymgeçirijiler senagaty häzirki zaman önümçiliginiň iň ýokary derejesini görkezýär we mutlak takyklygy, yzygiderliligi we materialyň köpugurlylygyny talap edýär. Adaty işleme usullary köplenç termal burulma we takyklyk çäkleri sebäpli ýokary derejeli komponentleriň berk talaplaryna laýyk gelmeýär. Femtosekund lazer tehnologiýasy ösen ýarymgeçirijiler önümçiligi üçin täze ýol açýar.

Gaz paýlaýjy plastinka (duş başlygy) deşmek

Gaz paýlaýjy plastinka (Duş başlygy) aşındyrmak we çökdürmek (CVD/PVD) enjamlarynda örän möhümdir. Onuň mikro deşikleriniň hili plastina prosesiniň birmeňzeşligini gönüden-göni kesgitleýär we bir plastinkada müňlerçe kemçiliksiz mikro deşikleri talap edýär.

Tehnologiýa taýdan gazanan üstünliklerimiz:

Ultra inçe deşikler: 20μm ýaly kiçi dik mikro deşikleri burawlamaga ukyply.

Iň ýokary takyklyk: Ýokary göwrümli massiwlerde ýokary derejede yzygiderlilik bilen ±1μm deşik diametri takyklygyna ýetýär.

Inçe diwaryň bitewüligi: 15μm diwar galyňlygynda hem gurluşyň bitewüligini saklaýar, birleşen ýa-da döwülen deşikleriň bolmazlygyny üpjün edýär.

Materialyň köpugurlylygy: Metallar (alýumin, poslanmaýan polat) we kremniý karbidi (SiC), keramika we kremniý ýaly gaty döwülýän materiallar üçin ajaýyp laýyk gelýär, döwülme meselelerini aradan aýyrýar.

Ýarymgeçirijileri synagdan geçirmek we zond kartlary

Ýarymgeçiriji synaglarda berilliý misi (BeCu) zond kartlary we gurşun çarçuwalary üçin giňden ulanylýar. Adaty ştamplama ýa-da uzyn impulsly lazerler köplenç synagyň durnuklylygyna zyýan ýetirip, egrilige sebäp bolýar.

Femtosekund lazer kesişiniň artykmaçlyklary:

Stresssiz kesmek: "Sowuk ablýasiýa" termal egriligiň öňüni alýar we zond bilen ýassykçanyň durnukly gatnaşygy üçin doly tekizligi üpjün edýär.

Gyralaryň hili: BeCu-nyň mehaniki we elektrik häsiýetlerini saklap, tekiz, çişsiz we şlaksyz gyralary üpjün edýär.

Mikron derejesindäki gözegçilik: Ölçeg takyklygy 2μm aralygynda saklanýar we ýokary dykyzlykly zond massiwleriniň zerurlyklaryny kanagatlandyrýar.

Elektronikanyň has köp ulanylyşlary

Çylşyrymly simwollaryň we nagyşlaryň örän inçe çyzyk giňligi we deformasiýanyň bolmazlygy bilen takyk kesilmegi.

Barmakara elektrodlary (IDE) kesmek we simleri birleşdirýän kapillýarlaryň mikrostrukturlaşdyrylmagy.

Mis örtükli laminatlarda (CCL) kör deşikleri burawlamak we geçirijilikli matalary kömürleşdirmezden kesmek.

Näme üçin Femtosekund lazeri?

Femtosekund lazer tehnologiýasy ýarymgeçirijileriň takyk önümçiliginiň geljegidir.

Bir ädimli önümçilik: Çökündileri arassalamak ýa-da arassalamakdan soňky zerurlygy aradan aýyrýar, ylmy-barlag we işläp taýýarlamak işlerini we önümçilik sikllerini ep-esli gysgaldýar.

Zyýansyz: Minimal ýylylyk täsir edýän zona (HAZ) gaýtadan dökülen gatlaklaryň we mikro çatlaklaryň döremeginiň öňüni alýar we materialyň içki häsiýetlerini saklaýar.

Çeýe önümçilik: Programma üpjünçiligini dolandyrmak arkaly çalt özleşdirmäge mümkinçilik berýär. Ýokary garyşyk, az göwrümli önümçilik we gaýtalanýan çip dizaýnlaryna çalt jogap bermek üçin ideal.